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高端半導體器件的發展帶動乙硅烷的市場需求

2019-08-06 11:34      責任編輯:宋曉瑞    來源:www.utbrezj.cn    點擊:
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高端半導體器件的發展帶動乙硅烷的市場需求

        乙硅烷是一種無機化合物,其化學式為Si2H6,在常溫常壓下為無色透明,且具有一定刺激性氣味的有毒氣體,在自身蒸汽壓下是無色透明液體。乙硅烷氣體可以與氫氣、氬氣、氮氣、氦氣等以任意比例混合,可以溶于苯、二硫化碳、乙基硅酸和乙基醇。乙硅烷在空氣中能自燃,著火點低于室溫,因此,乙硅烷遇到空氣瞬間燃燒,并分解成為SiH4和H2。燃燒濃度范圍寬,在0.2%以上時,燃燒發出火焰,在0.2%以下時,發生氧化反應生成白色的SiO2

        乙硅烷的生產方法具有較大的差異,不用的生產方法所需要的原材料也不盡相同,其中主要的生產方法為硅化鎂與氯化銨反應法、鹵代乙硅烷還原法等。硅化鎂與氯化銨反應法中所用的原材料主要為硅化鎂和氯化銨;鹵代乙硅烷還原法所用的原材料主要為六氯乙硅烷和氫化鋁鈉,因此,乙硅烷的上游原材料主要有硅化鎂、氯化銨、六氯乙硅烷、氫化鋁鈉等。

        乙硅烷在薄膜晶體管液晶顯示和芯片制造以及非晶硅膜太陽能電池生產中都有著極其重要的作用。作為沉積源時,與相同作用的硅烷相比,乙硅烷具有沉積速度更快、沉積溫度更低等優點。乙硅烷可以用于非晶硅膜太陽能電池和電子產品中電子級晶體硅的生產,在太陽能電池生產中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多,且溫度可降低200~300℃;在半導體工藝中用于外延和擴散工藝,也用于太陽能電池和電子照相用的感光鼓;在離子注入中,以乙硅烷作離子源后束流強,效果明顯好于用其他氣體作離子源。

        新思界發布的《2019-2023年乙硅烷行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示,隨著社會科技水平和人們生活水平的提高,在非晶硅膜太陽能電池、薄膜晶體管液晶顯示和芯片制造等領域中,乙硅烷將會逐漸取代傳統硅烷,市場規模也會隨之擴大,前景較為廣闊。與此同時,隨著中國企業的不斷發力,我國在乙硅烷領域的空白將不斷被填補,在合成和提純方面的技術逐步突破,和國外發達國家的差距不斷縮小,可實現部分產品的國產化,但是高端乙硅烷要實現大規模國產化,完全擺脫進口產品的依賴,依然任重而道遠。

        近年我國電子工業的整體水平得到了很大提高,但與發達國家相比仍有較大差距,特別是核心關鍵原材料和高端半導體器件的研發能力和產業化水平,遠不能滿足中國電子工業高速發展的需求。乙硅烷等特種電子氣體是影響電子器件可靠性和成品率的重要因素,氣體純度每提高一個數量級,都會極大地推動半導體器件實現質的飛躍,因此發展乙硅烷產業已經成為電子工業不可逆轉的一大趨勢。

        當前,電子工業已經成為支撐國民經濟可持續發展和保障國家戰略安全的核心工業體系。乙硅烷等高純特種電子氣體的研發與產業化已作為我國大規模集成電路制造裝備及成套工藝的核心部分被列入我國國家科技重大專項,與大型飛機、載人航天與探月工程等16個重大專項一起被列入《國家中長期科學和技術發展規劃綱要(2006-2020)》,這對于乙硅烷行業而言,是一個良好的發展機遇。
關鍵字: 半導體 乙硅烷 特種電子氣體

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